美国、德国向倾斜仪ASML提供超级精密的机械支持以及光倾斜学技术的支持,而理论创新也正是当年B电子BO研发的关键环节。中国光刻机电子技术至少落后阿斯麦(ASML)15年。
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因此对投入产出比的判断使他们放缓了对更高精度光刻机的研倾斜仪制。电子ASML想要倾斜抓住我们国内的市场,
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